专利详情

专利名称	一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法
申请号	CN201610344783.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105928619A	公开（授权）日	2016.09.07
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	齐向东;卢禹先;李晓天;于海利;于宏柱;张善文;巴音贺希格;唐玉国;吉日嘎兰图
主分类号	G01J3/45(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/45(2006.01)I
专利有效期	一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法至一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本申请公开了一种拼接光栅拼接误差检测系统及拼接误差校正方法，所述拼接光栅拼接误差检测系统包括：干涉仪、棱镜、第一反射部和第二反射部；所述拼接光栅拼接误差检测系统利用干涉仪和棱镜实现了向所述待检测光栅发送两束不同入射角的入射光线(第二检测光和第三检测光)的目的，这两束入射光线在经过待检测光栅的反射后分别被所述第一反射部和第二反射部反射，并返回所述干涉仪形成第一零级干涉条纹、第二零级干涉条纹和非零级干涉条纹，以为所述待检测光栅的拼接误差校正提供校正数据，进而实现了仅采用干涉检测实现对拼接光栅的拼接误差检测。并且所述拼接光栅拼接误差检测系统的光路设计简单，便于实际操作，简化拼接误差的检测光路。