专利详情

专利名称	一种扫描承片台装置及扫描设备
申请号	CN201720441835.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206945619U	公开（授权）日	2018.01.30
申请（专利权）人	中国科学院声学研究所	发明（设计）人	廉国选;马骥;冷涛;宋波;陈秋颖;安志武;韩炜;胡玲;闫冉;张逸君;毛捷
主分类号	G01N29/22(2006.01)I	IPC主分类号	G01N29/22(2006.01)I
专利有效期	一种扫描承片台装置及扫描设备至一种扫描承片台装置及扫描设备	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种扫描承片台装置及扫描设备，该扫描承片台装置包括：第一支架单元，第二支架单元，承片台单元和支撑立架；其中，承片台单元对接于所述第一支架单元和所述第二支架单元之间；第一支架单元和第二支架单元分别与支撑立架紧固贴合；支撑立架呈镜像分布。本实用新型提供的一种扫描承片台装置，采用层叠交错双轨式标准芯轴夹持PMMA承片板方式，兼顾了反射式扫描或透射式扫描支撑平台功能所需，尤其是透射式扫描超薄支撑平台的功能所需，结构紧凑简捷，调节方式快速便捷，实现一种对待测器件可兼顾进行反射式尤其是透射式扫描的承载方式，凸显了特别针对承载待测器件的一种承片台结构方式。