专利详情

专利名称	干燥及预钝化装置
申请号	CN201720581572.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206902221U	公开（授权）日	2018.01.19
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	郭馨;丁金滨;刘斌;张立佳;周翔;王宇;赵江山
主分类号	C23C8/08(2006.01)I	IPC主分类号	C23C8/08(2006.01)I;C23C8/02(2006.01)I
专利有效期	干燥及预钝化装置至干燥及预钝化装置	法律状态
说明书摘要	一种干燥及预钝化装置，包括气室及分别与气室连接的总控制单元、抽真空单元及钝化气体控制单元，其中：气室用于盛放需要干燥及预钝化的零部件；抽真空单元用于吸入/排出空气，使气室处于真空/常压状态；钝化气体控制单元用于在气室处于真空状态时，向气室内注入钝化气体以对零部件进行预钝化，还用于在预钝化完成后，气室处于常压状态时将钝化气体排出；总控制单元，在气室内注入钝化气体对零部件进行预钝化时，用于根据气室内的温度信息，向气室提供热量。该装置可在真空条件下对零部件同时进行干燥和预钝化处理，使得零部件表面生成稳定保护层，防止零部件在后续装配、使用中碳、氢、氧等其他元素的污染，提高零部件的抗腐蚀能力和可靠性。