专利详情

专利名称	一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置
申请号	CN201720439924.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206872946U	公开（授权）日	2018.01.12
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	姜辛;刘鲁生;黄楠;杨兵;王宜豹
主分类号	C23C16/27(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/27(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I
专利有效期	一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置至一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种自旋转热丝CVD金刚石刀具涂层制备样品台装置。该装置包括：底座、主齿轮、发条组件、旋钮、副齿轮、刀具、刀具座，具体结构如下：主齿轮、副齿轮在底座的内部相啮合，主齿轮上方依次为发条组件、旋钮，发条组件上下分别与旋钮、主齿轮轴连接；副齿轮上方依次为刀具座、刀具，刀具座上下分别与刀具、副齿轮连接。本实用新型结构简单、成本低廉，制备出的金刚石刀具涂层厚度均匀、金刚石薄膜质量高。