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CO2激光束抛光装置

  • 申请号:CN201610135735.4
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 公开(公开)号:CN105772946A
  • 公开(公开)日:2016.07.20
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 CO2激光束抛光装置
申请号 CN201610135735.4 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN105772946A 公开(授权)日 2016.07.20
申请(专利权)人 中国科学院上海光学精密机械研究所 发明(设计)人 邵建达;贺婷;魏朝阳;廖洋;徐学科
主分类号 B23K26/352(2014.01)I IPC主分类号 B23K26/352(2014.01)I;B24B13/00(2006.01)I
专利有效期 CO2激光束抛光装置 至CO2激光束抛光装置 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 一种CO2激光束抛光装置,包括脉冲或连续CO2激光器及激光功率控制系统、光束整形系统、自动聚焦系统、扫描系统、温控和四维平台联动系统。本发明是利用激光加工技术与自动化控制技术相结合,对光学元件进行高精度抛光的装置。本发明可广泛应用于各种面形的光学元件,如平面、球面、非球面等,特别是小型复杂面形。

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