专利详情

专利名称	一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀
申请号	CN201720481124.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206786040U	公开（授权）日	2017.12.22
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	杨玖重;陈夏敏;文武;李天宇;潘洋
主分类号	F16K3/02(2006.01)I	IPC主分类号	F16K3/02(2006.01)I;F16K3/314(2006.01)I;F16K3/30(2006.01)I;F16K31/60(2006.01)I
专利有效期	一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀至一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种用于隔离束源室与质谱的超高真空超薄插板阀。该超薄插板阀的整体厚度小于8mm；包括阀安装件、阀体机构和直线导入器；阀安装件为板状，中部开设有通孔，一侧面设有一对导轨；阀体机构包括阀板，阀板的中部开设有阀孔，上端活动连接着直线导入器；工作时，阀体机构在直线导入器的作用下，沿一对导轨实现上下移动；当阀体机构上移至上止点，使阀孔和通孔重合贯通时，超高真空超薄插板阀为打开状态；当阀体机构下移至下止点，使阀孔和通孔完全不贯通时，超高真空超薄插板阀为关闭状态。本实用新型在不增加样品与电离点距离的情况下，实现了质谱探测器与束源室之间的快速隔离，提升了换样效率，提高了运行精度及稳定性。