专利详情

专利名称	一种多样靶材解吸率测试装置
申请号	CN201720533888.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206788140U	公开（授权）日	2017.12.22
申请（专利权）人	中国科学院近代物理研究所	发明（设计）人	罗成;谢文君;蒙峻;李朋;李敏;柴振
主分类号	G01N33/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01N33/00(2006.01)I
专利有效期	一种多样靶材解吸率测试装置至一种多样靶材解吸率测试装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及用于加速器的材料解吸率测试装置技术领域，尤其是涉及一种极高真空环境下的多样靶材解吸率测试装置。其特点是包括支架，所述的支架上安装有高精度滚珠丝杠和支撑轴，支撑轴内置于波纹管内，高精度滚珠丝杠上安装有滑动板，滑动板端部套设在支撑轴上并与波纹管相连，支撑轴一端通过靶材固定块与靶材架相接，支撑轴另一端通过双面法兰与旋转驱动器相连，旋转驱动电机通过第一联轴器与旋转驱动器转接件相连；所述的高精度滚珠丝杠端部通过第二联轴器与径向驱动电机相连。其解决了10^?9Pa极高真空状态下高精度径向运动及其旋转运动馈入的问题，同时解决了靶材架的线性运动和旋转运动无法通过计算机精确控制的问题。