专利详情

专利名称	双频电感耦合射频等离子体喷射沉积金刚石的方法
申请号	CN201610245107.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105839071A	公开（授权）日	2016.08.10
申请（专利权）人	中国科学院大学	发明（设计）人	陈广超;左勇刚;李佳君;白旸;刘浩;袁禾蔚
主分类号	C23C16/27(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/27(2006.01)I;C23C16/505(2006.01)I
专利有效期	双频电感耦合射频等离子体喷射沉积金刚石的方法至双频电感耦合射频等离子体喷射沉积金刚石的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种双频电感耦合射频等离子体喷射沉积金刚石的方法，属于金刚石气相沉积制备技术领域。利用双频电感耦合射频等离子体来沉积金刚石。将双频电感耦合射频放电激发的等离子体以喷射的方式掠射过衬底表面，通过调节高、低频率的频率比和功率比，以及各个气相参数实现金刚石的稳定制备。优点在于，摒弃了鞘气冷却方式，减少了耗气量，在近10⁴Pa数量级压强条件下，保证了反应气体的高离化率和有效基元数量空间分布的高均匀性，制备了从纳米到微米多种形貌的金刚石晶体。