连续面形石英微光学元件机械-刻蚀复合加工方法
- 申请号：CN201610213364.7
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院
- 公开(公开)号：CN105738980A
- 公开(公开)日：2016.07.06
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 连续面形石英微光学元件机械-刻蚀复合加工方法 | ||
| 申请号 | CN201610213364.7 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN105738980A | 公开（授权）日 | 2016.07.06 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 | 发明（设计）人 | 张为国;朱国栋;张东;熊欣;刘风雷;史浩飞;杜春雷 |
| 主分类号 | G02B3/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B3/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 连续面形石英微光学元件机械-刻蚀复合加工方法 至连续面形石英微光学元件机械-刻蚀复合加工方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明提供一种连续面形石英微光学元件机械?刻蚀复合加工方法，主要采用高分子材料涂覆及固化、金刚石超精密切削掩模、等离子体刻蚀工艺流程。该方法可实现石英材质微透镜列阵、微柱透镜、菲涅尔透镜等微光学元件的高精度制作，为紫外波段高质量微光学元件的精确制作提供一种有效的解决方案，推动小型化、集成化、紧凑型光电设备的发展。 | ||
交易流程
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专利 -
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