专利详情

专利名称	光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机
申请号	CN201610205482.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105739248A	公开（授权）日	2016.07.06
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	倪明阳;华洋洋;于新峰;郭抗;隋永新;杨怀江
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I
专利有效期	光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机至光学元件支撑结构、单元镜组、曝光光学系统及光刻机	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种光学元件支撑结构，用于支撑单元镜组(21)的光学元件(22)，包括镜座(24)，所述镜座(24)为圆周对称的机械构件，所述镜座(24)的内环向镜座中心伸出支撑杆(246)，所述支撑杆(246)在光轴方向和镜座径向上均具有柔性，所述支撑杆(246)末端设置有支撑面(247)，所述支撑面(247)与光学元件(22)的下表面相互匹配，以将光学元件(22)固定在所述镜座(24)上；所述支撑杆(246)的内侧连接有一运动台(245)，所述运动台(245)通过一导向机构(243)与镜座(24)的外环连接，所述导向机构(243)用于运动台(245)的运动导向。