专利详情

专利名称	一种前置于真空获得设备的气体过滤装置
申请号	CN201410632136.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105649959A	公开（授权）日	2016.06.08
申请（专利权）人	中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司	发明（设计）人	王光玉;汤剑;李昌龙
主分类号	F04B39/16(2006.01)I	IPC主分类号	F04B39/16(2006.01)I
专利有效期	一种前置于真空获得设备的气体过滤装置至一种前置于真空获得设备的气体过滤装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及真空技术领域，具体地说是一种前置于真空获得设备的气体过滤装置。包括上级过滤器、中间连接盘及下级过滤器，其中下级过滤器的下端设有下级进气口，上端与上级过滤器的底部连接，所述上级过滤器的顶部设有上级排气口，所述中间连接盘设置于上级过滤器的底部，所述中间连接盘上沿周向设有多个将上级过滤器和下级过滤器连通的通孔。所述下级过滤器的底部设有脚轮。所述下级进气口与被抽气体源连接，所述上级排气口与真空泵连接。本发明工作效率高，维护间隔长，过滤器内部清洁容易。