专利详情

专利名称	非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法
申请号	CN201510962256.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105627945A	公开（授权）日	2016.06.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	刘钰;苗亮;张文龙;马冬梅;金春水
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I
专利有效期	非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法至非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	非球面元件中心与外圆中心偏离量的测量装置及测量方法，涉及超高精度非球面面形检测加工领域。该方法为在以非球面元件外圆为中心做四个标记点；调节非球面元件使非球面面形测量装置光轴、非球面光轴及转台转轴相一致；当转台处于0度位置时检测非球面，记录4个标记点此时在干涉仪CCD上的像素位置坐标，得到非球面元件外圆中心的像素位置坐标(X1，Y1)；转台在0度、90度、180度以及270度位置处检测非球面，记录4个角度位置下任一标记点在的像素位置坐标，得到非球面中心的像素位置坐标(X2，Y2)；非球面中心与非球面元件外圆中心偏离的像素数为(X1-X2，Y1-Y2)，偏离量为(X1-X2，Y1-Y2)乘以像素分辨率。本发明结构简单、成本低、精度高。