专利详情

专利名称	基于零位补偿光学系统检测非球面镜面形的方法
申请号	CN201510962219.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105627944A	公开（授权）日	2016.06.01
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	苗亮;刘钰;张文龙;马冬梅;金春水
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	基于零位补偿光学系统检测非球面镜面形的方法至基于零位补偿光学系统检测非球面镜面形的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	基于零位补偿光学系统检测非球面镜面形的方法属于光学干涉测量技术领域，该方法通过在零位补偿光学系统中引入透射球面波镜头，尽量减少补偿镜和检测误差源数量。同时，将透射球面波镜头的出射面设计为参考面，使透射球面波镜头所有元件均属于共光路部分，大幅降低透射球面波镜头的设计、加工和装配难度。本发明将被检非球面镜面形分为旋转对称部分和非旋转对称部分分别设计标定方案，以提高非球面镜面形检测精度。利用旋转检测法精确标定被检非球面镜的非旋转对称面形，通过高精度标定透射球面波镜头和零位补偿单镜的波前误差和光学参量，引入理想透镜模型，同时利用几何光线追迹计算系统误差的旋转对称项，最终精确获得被检非球面镜面形误差。