专利详情

专利名称	一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法
申请号	CN201511003026.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105600774A	公开（授权）日	2016.05.25
申请（专利权）人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	姜浩;马金鑫;高翾;徐鑫;李朝龙;李占成;史浩飞
主分类号	C01B31/04(2006.01)I	IPC主分类号	C01B31/04(2006.01)I
专利有效期	一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法至一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种石墨烯“卷对卷”转移装备及转移方法，该装备由上料装置、压合装置、加电鼓泡预剥离装置、加电剥离装置、水冲洗装置、吹干装置和收卷装置组成；上述装置依次顺序排布，并通过导向辊调整方向连接。所涉及的转移方法为：在生长石墨烯表面涂布一层透明支撑涂层，烘干收卷后安放到转移装备上，通过压合装置加压加热方式与目标基底压合，继而通过加电鼓泡预剥离装置使石墨烯与生长基底铜箔预分离，再经过加电剥离装置使生长基底铜箔与石墨烯彻底分离，最后用去离子水冲洗、吹干并收卷完成转移。本发明中的转移装备结构紧凑，与转移方法配合使用可实现石墨烯薄膜的“卷对卷”式快速、高效及高质量转移。