专利详情

专利名称	微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法
申请号	CN201510960030.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105589305A	公开（授权）日	2016.05.18
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	谢耀;周烽;王丽萍;王辉;郭本银;张文龙;金春水
主分类号	G03F9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G03F9/00(2006.01)I;G01J9/00(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法至微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位方法，涉及光学系统检测领域，解决现有微缩投影系统波像差检测过程中的视场点定位的准确率低且存在工作量大，操作过程复杂等问题，采用三坐机上对主镜和次镜的反射面轮廓进行测量，获得主镜和次镜的间距，并在三坐机上完成主次镜的装配，保证主镜的外轮廓与主镜支撑环的外轮廓、次镜与次镜支撑环外轮廓的同轴度和垂直度以及主次镜背面与主次镜支撑结构的平行度；采用定心仪调整机构和平晶调整主次镜与其支撑环的装配，获得主次镜镜面的倾斜度和偏心量；完成凹面反射镜在次镜背面的装配；定位系统定位的视场点。本发明可以实现在波像差检测过中被测视场点的快速定位和准确复位。