专利详情

专利名称	多功能显微共焦光谱仪
申请号	CN201610130068.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105588640A	公开（授权）日	2016.05.18
申请（专利权）人	中国科学院半导体研究所	发明（设计）人	谭平恒
主分类号	G01J3/44(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/44(2006.01)I;G01J3/02(2006.01)I
专利有效期	多功能显微共焦光谱仪至多功能显微共焦光谱仪	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种多功能显微共焦光谱仪，该多功能显微共焦光谱仪包括：一光学平台；以及设置于该光学平台上的第二激光器模块、光路耦合与输出主模块、第一激光器模块、照明观测模块、显微模块、第一信号检测模块、第二信号检测模块和第三信号检测模块；其中，该光路耦合与输出主模块和照明观测模块具有同一基座，第一激光器模块、显微模块、第一信号检测模块、第二信号检测模块和第三信号检测模块均固定在该基座的四周。本发明可以实现样品以及相应激光斑点的显微观测，能够方便地进行样品拉曼信号和光致发光信号的显微共焦测试，具有结构简单、稳定性好、调节方便和便于扩展的优点。