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一种具有内建电场的TiO2异相结紫外/深紫外探测器件及制备

  • 申请号:CN201410724183.1
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
  • 公开(公开)号:CN105720117A
  • 公开(公开)日:2016.06.29
  • 法律状态:实质审查的生效
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专利详情

专利名称 一种具有内建电场的TiO2异相结紫外/深紫外探测器件及制备
申请号 CN201410724183.1 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN105720117A 公开(授权)日 2016.06.29
申请(专利权)人 中国科学院大连化学物理研究所 发明(设计)人 李灿;严鹏丽;冯兆池;甘阳;范峰滔;安虹宇
主分类号 H01L31/0296(2006.01)I IPC主分类号 H01L31/0296(2006.01)I;H01L31/09(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期 一种具有内建电场的TiO2异相结紫外/深紫外探测器件及制备 至一种具有内建电场的TiO2异相结紫外/深紫外探测器件及制备 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明提供了一种具有内建电场的TiO2异相结紫外/深紫外探测器件及其制备方法。探测器自下而上的组成依次为透明导电衬底,TiO2金红石相薄膜,TiO2锐钛矿相薄膜和导电电极。其特征在于探测器具有TiO2金红石相和锐钛矿相组成的同质异相结,通过TiO2不同晶相间形成的内建电场促进光生载流子定向分离,降低光生载流子的复合。与传统TiO2基紫外探测器相比,本发明具有无需外加偏压,响应速度快,响应灵敏度高,制备方便等优点。在小于385nm的紫外光照下,在没有外加偏压的测试条件下,自驱动的紫外探测器的光响应可达到1.67mA/cm2。本发明为紫外/深紫外光探测提供了一种新的方法。

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