专利详情

专利名称	紫外红外双色焦平面探测器阵列及其性能设计和制备方法
申请号	CN201610406753.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105914252A	公开（授权）日	2016.08.31
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	胡伟达;白杰;陈效双;陆卫
主分类号	H01L31/103(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/103(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I
专利有效期	紫外红外双色焦平面探测器阵列及其性能设计和制备方法至紫外红外双色焦平面探测器阵列及其性能设计和制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种紫外红外双色焦平面探测器阵列及其性能设计和制备方法。该结构单片集成了Pt/CdS紫外焦平面和InSb红外焦平面，Pt/CdS紫外焦平面受到正面入射，由于红外辐射可以透过CdS到达InSb吸收层，从而可以实现紫外辐射和红外辐射的同时探测。Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列的工作波段为300～550nm和2.9～5.7μm。本发明的优点在于，Pt/CdS紫外与InSb红外双色焦平面阵列结构中紫外焦平面与红外焦平面距离很近从而共焦，并且紫外红外光敏元上下对齐有利于光学系统的设计。本发明对于实际双色器件的优化设计和制备都有着十分重要的意义。