专利详情

专利名称	以CVD金刚石为基底的远红外波段光学薄膜滤光片
申请号	CN201720061446.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN206411288U	公开（授权）日	2017.08.15
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	罗海瀚;刘定权;孔园园;蔡清元
主分类号	G02B5/20(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/20(2006.01)I
专利有效期	以CVD金刚石为基底的远红外波段光学薄膜滤光片至以CVD金刚石为基底的远红外波段光学薄膜滤光片	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种以CVD金刚石为基底的远红外波段光学薄膜滤光片，该滤光片以碲化铅(PbTe)和硒化锌(ZnSe)为高低折射率薄膜材料，在1?2×10^?3Pa真空环境、200±2℃沉积温度下，采用热蒸发沉积方法在CVD金刚石基底两侧分别沉积多层膜而成；该远红外滤光片能够实现对波长小于5微米波段的截止，平均透过率低于1％，在5?45微米波段平均透过率大于71％。本专利专利的远红外波段光学薄膜滤光片可应用于地球辐射探测远红外目标识别和深空探测等领域。