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薄膜X射线衍射原位测试装置

  • 申请号:CN201621060031.7
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院上海应用物理研究所
  • 公开(公开)号:CN206074486U
  • 公开(公开)日:2017.04.05
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 薄膜X射线衍射原位测试装置
申请号 CN201621060031.7 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN206074486U 公开(授权)日 2017.04.05
申请(专利权)人 中国科学院上海应用物理研究所 发明(设计)人 王瑞;刘春泽;朱大明;顾月良;阴广志;李晓龙
主分类号 G01N23/20(2006.01)I IPC主分类号 G01N23/20(2006.01)I;G05D27/02(2006.01)I
专利有效期 薄膜X射线衍射原位测试装置 至薄膜X射线衍射原位测试装置 法律状态
说明书摘要 本实用新型提供一种薄膜X射线衍射原位测试装置,包括一冷热台腔体和与其相连的一温度控制机构及一冷却机构,所述冷热台腔体包括可拆卸连接的一样品台底座和一压盖,所述压盖与所述样品台底座配合形成一内腔;还包括:一湿度控制机构,所述湿度控制机构连接所述冷热台腔体。本实用新型的一种薄膜X射线衍射原位测试装置可对反应腔体进行高低温控制、湿度控制并可实现原位的电学测试功能,具有调节自由度大、调节精度高、操作便捷、安全度高和成本低的优点。

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