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一种激光压缩整形装置

  • 申请号:CN201620990109.9
  • 专利类型:实用新型
  • 申请(专利权)人:中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
  • 公开(公开)号:CN206074923U
  • 公开(公开)日:2017.04.05
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种激光压缩整形装置
申请号 CN201620990109.9 专利类型 实用新型
公开(公告)号 CN206074923U 公开(授权)日 2017.04.05
申请(专利权)人 中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心 发明(设计)人 陈鲁;刘虹遥;杨乐;张朝前;马砚忠;路鑫超
主分类号 G02B27/09(2006.01)I IPC主分类号 G02B27/09(2006.01)I;H01S3/00(2006.01)I
专利有效期 一种激光压缩整形装置 至一种激光压缩整形装置 法律状态
说明书摘要 本实用新型涉及激光设备技术领域,特别涉及一种激光压缩整形装置,包括:非球面镜、柱面镜及壳体。非球面镜与所述柱面镜相对设置。非球面镜及柱面镜固定在壳体内。激光从非球面镜入射,从柱面镜射出。本实用新型提供的激光压缩整形装置,非球面镜对激光起匀光作用,柱面镜对激光起单向压缩作用,非球面镜及柱面镜共同实现激光的会聚,通过对激光束进行匀光、压缩以及会聚,实现了激光束的均匀分布。

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