专利详情

专利名称	一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置
申请号	CN201620932071.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205954105U	公开（授权）日	2017.02.15
申请（专利权）人	中国科学院金属研究所	发明（设计）人	姜辛;刘鲁生;黄楠;杨兵;翟超峰;李俊豪;贾心怡
主分类号	C23C16/27(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/27(2006.01)I;C23C16/52(2006.01)I
专利有效期	一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置至一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及金刚石膜生长领域，尤其涉及一种在工件内孔沉积金刚石薄膜的热丝化学气相沉积装置。该装置设有密闭的反应腔体，反应腔体的一端设有气体喷淋头，气体喷淋头通过管路与外部气源连接，反应腔体的另一端设有抽真空系统和真空测控系统；反应腔体内部设有中空的水冷样品台，水冷样品台的中空部分向内依次设有绝缘层、导电层、工件、热丝。本实用新型可以实现在工件内孔快速、均匀沉积金刚石薄膜，减少反应气体的消耗，沉积过程中能测控热丝的温度、工件表面的温度和反应腔内的压强，能准确控制金刚石薄膜沉积各项主要工艺参数，工艺重复性好。