专利详情

专利名称	一种螺线管线圈微型磁通门
申请号	CN201621017090.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205958729U	公开（授权）日	2017.02.15
申请（专利权）人	宁波中车时代传感技术有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	侯晓伟;顾杰斌;刘冰杰;倪大成;王飞;郑良广;陈竹健
主分类号	G01R33/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01R33/00(2006.01)I;G01R33/04(2006.01)I
专利有效期	一种螺线管线圈微型磁通门至一种螺线管线圈微型磁通门	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种螺线管线圈微型磁通门，包括相互键合的第一高阻硅片和第一高阻硅片，第一高阻硅片和第二高阻硅片的对合面之间具有一内置铁芯层的铁芯腔，铁芯腔的外周围绕设置有多个填充有线圈材料的螺线管腔，螺线管腔在第一高阻硅片和/或第二高阻硅片的外表面上形成有填充口，填充口上覆盖设置有保护层，保护层上开设有通至螺线管线圈的电极窗口。该螺线管线圈微型磁通门环保性好、制备简单、成品率高。