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3D integrated circuit structure, semiconductor device and method of manufacturing same

  • 申请号:US201013062001
  • 专利类型:US
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:US9064849(B2)
  • 公开(公开)日:2015.06.23
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 3D integrated circuit structure, semiconductor device and method of manufacturing same
申请号 US201013062001 专利类型 US
公开(公告)号 US9064849(B2) 公开(授权)日 2015.06.23
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 Zhu Huilong
主分类号 H01L21/4763 IPC主分类号 H01L21/4763;H01L23/48;H01L25/065;H01L25/00
专利有效期 3D integrated circuit structure, semiconductor device and method of manufacturing same 至3D integrated circuit structure, semiconductor device and method of manufacturing same 法律状态
说明书摘要 The present invention discloses a semiconductor device. In one embodiment, the semiconductor device comprises a substrate, a diffusion stop layer formed on the substrate, an SOI layer formed on the diffusion stop layer, an MOSFET transistor formed on the SOI layer, and a TSV formed in a manner of penetrating through the substrate, the diffusion stop layer, the SOI layer, and a layer where the MOSFET transistor is located; and an interconnect structure connecting the MOSFET transistor and the TSV.

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