Heating method for maintaining a stable thermal budget
- 申请号：US201113379242
- 专利类型：US
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：US8926321(B2)
- 公开(公开)日：2015.01.06
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | Heating method for maintaining a stable thermal budget | ||
| 申请号 | US201113379242 | 专利类型 | US |
| 公开（公告）号 | US8926321(B2) | 公开（授权）日 | 2015.01.06 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | Li Chunlong |
| 主分类号 | H01L21/30 | IPC主分类号 | H01L21/30;H01L21/28;H01L21/324 |
| 专利有效期 | Heating method for maintaining a stable thermal budget 至Heating method for maintaining a stable thermal budget | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | The present invention discloses a heating method for maintaining a stable thermal budget. By following the primary procedure with a virtual procedure in such a manner that the total duration of the whole heating process remains constant, it is beneficial to maintain a stable thermal budget and further to maintain a stable device performance. | ||
交易流程
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