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Semiconductor device and manufacturing method thereof

  • 申请号:US201113497249
  • 专利类型:US
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:US8816326(B2)
  • 公开(公开)日:2014.08.26
  • 法律状态:
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专利详情

专利名称 Semiconductor device and manufacturing method thereof
申请号 US201113497249 专利类型 US
公开(公告)号 US8816326(B2) 公开(授权)日 2014.08.26
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 Yin Huaxiang;Luo Jun;Zhao Chao;Liu Honggang;Chen Dapeng
主分类号 H01L29/78 IPC主分类号 H01L29/78;H01L29/66;H01L29/778;H01L29/08
专利有效期 Semiconductor device and manufacturing method thereof 至Semiconductor device and manufacturing method thereof 法律状态
说明书摘要 A semiconductor device, which comprises: a semiconductor substrate; a channel region on the semiconductor substrate, said channel region including a quantum well structure; a source region and a drain region on the sides of the channel region; a gate structure on the channel region; wherein the materials for the channel region, the source region and the drain region have different energy bands, and a tunneling barrier structure exists between the source region and the channel region.

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