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Transistor with primary and semiconductor spacer, method for manufacturing transistor, and semiconductor chip comprising the transistor

  • 申请号:US201113378997
  • 专利类型:US
  • 申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
  • 公开(公开)号:US8835316(B2)
  • 公开(公开)日:2014.09.16
  • 法律状态:
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 Transistor with primary and semiconductor spacer, method for manufacturing transistor, and semiconductor chip comprising the transistor
申请号 US201113378997 专利类型 US
公开(公告)号 US8835316(B2) 公开(授权)日 2014.09.16
申请(专利权)人 中国科学院微电子研究所 发明(设计)人 Yin Haizhou;Luo Jun;Zhu Huilong;Luo Zhijiong
主分类号 H01L29/772 IPC主分类号 H01L29/772;H01L21/3213;H01L21/768;H01L29/78;H01L29/66;H01L29/417;H01L21/285
专利有效期 Transistor with primary and semiconductor spacer, method for manufacturing transistor, and semiconductor chip comprising the transistor 至Transistor with primary and semiconductor spacer, method for manufacturing transistor, and semiconductor chip comprising the transistor 法律状态
说明书摘要

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