专利详情

专利名称	Phasenverschiebendes Beugungsinterferometer mit Doppelpinhole und gro?er Apertur und Testverfahren
申请号	DE20141102949T	专利类型	DE
公开（公告）号	DE112014002949(T5)	公开（授权）日	2016.03.17
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	JIN, CHUNSHUI;VOZNESENSKAIA, MARIIA;VOZNESENSKIY, NIKOLAY;MA, DONGMEI;ZHANG, HAITAO;YU, JIE;VOZNESENSKAIA, TATIANA;ZHANG, WENLONG
主分类号	G01B9/02	IPC主分类号	G01B9/02
专利有效期	Phasenverschiebendes Beugungsinterferometer mit Doppelpinhole und gro?er Apertur und Testverfahren 至Phasenverschiebendes Beugungsinterferometer mit Doppelpinhole und gro?er Apertur und Testverfahren	法律状态
说明书摘要	Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein phasenverschiebendes Beugungsinterferometer mit Doppel-Pinhole und gro?er Apertur und ein Testverfahren; das Beugungsinterferometer umfasst: einen Referenzlichtdurchgang, einen Testlichtdurchgang und ein Pinhole-Substrat; wobei das Pinhole-Substrat ein Test-Pinhole und ein Referenz-Pinhole umfasst; wobei die vom Test-Pinhole emittierte Beugungswellenfront durch die zu prüfende optische Komponente in der N?he des Pinhole-Substrats reflektiert wird und in der N?he des Referenz-Pinholes konvergiert, und die betreffende Beugungswellenfront Information bezüglich der Oberfl?chenbeschaffenheit der zu prüfenden optischen Komponente umfasst und durch das Pinhole-Substrat reflektiert wird und mit der vom Referenz-Pinhole emittierten Beugungswellenfront unter Bildung von Interferenzstreifen interferiert. Das phasenverschiebende Beugungsinterferometer mit Doppel-Pinhole und gro?er Apertur der vorliegenden Erfindung verwendet ein Doppel-Pinhole Substrat und eine Beleuchtungsweise mit zwei konvergierenden Lichtwegen, um damit St?rungen zwischen den beiden Lichtwegen zu vermeiden, die w?hrend der Phasenverschiebung eine Ver?nderung des Interferogramm-Status hervorrufen würden. Durch die Verwendung eines Erfassungssystems zur optischen Erfassung eines Kleinfeld-Interferogramms vermeidet die vorliegende Erfindung die Beeinflussung des Testlichtdurchgangs und erzielt eine Prüfung mit gro?er numerischer Apertur unter Phasenverschiebungs-Bedingungen.