专利详情

专利名称	一种带有偏振分束元件的自准光路系统
申请号	CN201620793800.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205942120U	公开（授权）日	2017.02.08
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	王先华;贾森;吴易明;蔡勇;肖茂森
主分类号	G02B27/28(2006.01)I	IPC主分类号	G02B27/28(2006.01)I
专利有效期	一种带有偏振分束元件的自准光路系统至一种带有偏振分束元件的自准光路系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种带有偏振分束元件的自准光路系统。该自准直光路系统包括在一个偏振分束元件，在该偏振分束元件的s光光路上依次设置单色光源、小孔光阑、第一准直透镜、第一十字分划板和第一偏振片，在该偏振分束元件的p光光路上依次设置1/4波片和被测物体，在该偏振分束元件的入射光光路上依次设置第二偏振片、第二十字分划板、第二准直透镜和光接收系统。本实用新型可广泛应用于高精度角度测量、角位移测量等，具有测量精度高、量程大、可静态或动态测量的特点。