专利详情

专利名称	一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计
申请号	CN201620763927.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205898308U	公开（授权）日	2017.01.18
申请（专利权）人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	杨俊;姬乙雄;汤林龙;冯双龙;周大华;申钧;魏兴战;史浩飞;杜春雷
主分类号	G01J5/10(2006.01)I	IPC主分类号	G01J5/10(2006.01)I
专利有效期	一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计至一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种基于碳纳米红外吸收层的微测辐射热计，包括氮化硅支撑层(5)，所述氮化硅支撑层(5)向上依次为第一碳纳米红外吸收层(4)，热敏感层(3)，第二碳纳米红外吸收层(2)和氮化硅保护层(1)；所述第二碳纳米红外吸收层2和氮化硅保护层(1)构成微测辐射热计的顶部红外吸收层；所述第一碳纳米红外吸收层4和氮化硅支撑层(5)构成微测辐射热计的底部红外吸收层，底部红外吸收层与金属反射层(7)之间通过支撑桥墩(6)形成红外吸收谐振腔(9)；所述金属反射层(7)位于硅衬底(8)之上。该微测辐射热计采用碳纳米材料作为红外吸收增强层，不仅提高器件的红外吸收率和探测灵敏度，而且可以实现宽波段红外吸收，器件结构简单，有优异的非制冷红外探测性能。