专利详情

专利名称	一种气氛可控多器件化学电阻型气敏传感器密封测试装置
申请号	CN201620745616.6	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205844243U	公开（授权）日	2016.12.28
申请（专利权）人	中国科学院福建物质结构研究所	发明（设计）人	姚明水;徐刚
主分类号	G01N27/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/12(2006.01)I
专利有效期	一种气氛可控多器件化学电阻型气敏传感器密封测试装置至一种气氛可控多器件化学电阻型气敏传感器密封测试装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种气氛可控多器件化学电阻型气敏传感器密封测试装置，属于物理测量技术领域。本装置用于化学电阻型气敏传感器的性能测试，分为两个部分：气氛控制单元，通过外来进气和一个出气管配合使用；测试单元，包括样品台和电极引出装置，样品台通过焊接与电极引出装置相连，电极引出装置主要由密封件a和密封件b通过螺纹和橡胶圈密封，密封件b内件开有与数字源表连接口个数相同的孔，用于电极线引出并用环氧树脂密封，引出的电极线通过与固定于密封件b外件的电极转接口实现与数字源表的连接，密封件b内件与外件采用机械连接。整个装置均为金属环绕，实现法拉第笼的电磁屏蔽功能，利于纳安及以下的精细电流测量。