专利详情

专利名称	一种密封容器的真空密封性能测量装置
申请号	CN201620713855.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205826251U	公开（授权）日	2016.12.21
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	吴晓斌;张罗莎;王魁波;陈进新;罗艳;谢婉露;周翊;王宇;崔惠绒
主分类号	G01M3/32(2006.01)I	IPC主分类号	G01M3/32(2006.01)I;G01M3/20(2006.01)I
专利有效期	一种密封容器的真空密封性能测量装置至一种密封容器的真空密封性能测量装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种密封容器的真空密封性能测量装置，该装置包括第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、密封容器(5)、角阀(6)、限流小孔(7)、分子泵组(8)、第一干式机械泵(9)、插板阀(10)、真空规(11)、四极质谱计(12)、测量室(13)。其中第一标准漏孔(1)、第二标准漏孔(2)、第三标准漏孔(3)、吸气剂泵(4)、真空规(11)、四极质谱计(12)分别各自连接到测量室(13)，限流小孔(7)的一端通过角阀(6)连接到测量室(13)，限流小孔(7)的另一端连接到分子泵组(8)和插板阀(10)之间，第一干式机械泵(9)通过分子泵组(8)借由插板阀(10)连接到测量室(13)。