专利详情

专利名称	一种准分子激光器工作气体配送装置
申请号	CN201620623605.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205828871U	公开（授权）日	2016.12.21
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	丁金滨;刘斌;周翊;王宇
主分类号	H01S3/036(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/036(2006.01)I
专利有效期	一种准分子激光器工作气体配送装置至一种准分子激光器工作气体配送装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种准分子激光器工作气体配送装置，用于激光器系统用多种高纯气体的供应，该装置具有包括多路进气口的多路进气通道，用于实现对一个或多个放电腔的注气，还具有排气通道，用于实现对一个或多个放电腔的排气。本实用新型还公开了一种采用四路进气、两路输出到放电腔的准分子激光器高纯工作气体配送装置，其根据工作气体的种类适当调整进气路数以满足不同气体的配置。根据激光器可能采用单腔或者双腔的结构特点，通过调整气体输送系统输出到放电腔的路数进行控制，可以满足不同结构特点激光器的需要。