一种真空密封件分压漏率测量装置
- 申请号：CN201620640979.3
- 专利类型：实用新型
- 申请（专利权）人：中国科学院光电研究院
- 公开(公开)号：CN205826240U
- 公开(公开)日：2016.12.21
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 一种真空密封件分压漏率测量装置 | ||
| 申请号 | CN201620640979.3 | 专利类型 | 实用新型 |
| 公开（公告）号 | CN205826240U | 公开（授权）日 | 2016.12.21 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电研究院 | 发明（设计）人 | 王魁波;张罗莎;吴晓斌;罗艳;陈进新;谢婉露;王宇 |
| 主分类号 | G01M3/26(2006.01)I | IPC主分类号 | G01M3/26(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种真空密封件分压漏率测量装置 至一种真空密封件分压漏率测量装置 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | 本实用新型公开了一种真空密封件分压漏率测量装置，用于测量真空密封件漏气组分及各组分的分压漏率。该装置包括第一真空规(1)、质谱计(2)、标准漏孔(3)、第一截止阀(4)、真空室(5)、插板阀(6)、角阀(7)、限流小孔(8)、第一抽气泵组(9)、第二真空规(10)、电磁阀(11)、第二抽气泵组(12)、第二截止阀(13)、气瓶(14)以及真空密封件(15)。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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