专利详情

专利名称	铟镓砷短波红外探测器
申请号	CN201620559090.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205810840U	公开（授权）日	2016.12.14
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	李平;李淘;李雪;邵秀梅;唐恒敬;龚海梅
主分类号	H01L31/09(2006.01)I	IPC主分类号	H01L31/09(2006.01)I;G01J5/20(2006.01)I
专利有效期	铟镓砷短波红外探测器至铟镓砷短波红外探测器	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种铟镓砷短波红外探测器。器件结构从上至下依次包括钝化层，窗口层，吸收层，缓冲层，读出电路，金属电极和互连通孔。其中，金属电极制备在缓冲层上。互连通孔制备在光敏元上，形成一个锥形通孔。互连通孔只与窗口层和读出电路连通。钝化层覆盖了除金属电极以外的器件表面，同时在互连通孔锥形下半部形成内部绝缘隔离。本器件结构特征在于铟镓砷短波红外探测器在光敏元上引入一个锥形的通孔，然后在通孔中填充互连金属连接窗口层与读出电路，使得探测器光敏元从材料内部就可以与读出电路进行互连。这种结构具有结构紧凑、易集成，能有效提高探测器在三维方向的堆叠密度，是未来发展微系统的核心技术。