专利详情

专利名称	扫描振镜振动参数的测量系统
申请号	CN201620608690.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205785496U	公开（授权）日	2016.12.07
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	李坤;陈永权;赵建科;薛勋;刘尚阔;曹昆;段亚轩;李晶;王争锋;昌明
主分类号	G01H9/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01H9/00(2006.01)I
专利有效期	扫描振镜振动参数的测量系统至扫描振镜振动参数的测量系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及一种扫描振镜振动参数的测量系统，以解决现有技术测角范围小、频响低、精度低等问题。测量系统包括积分球光源、第一离轴抛物面反射镜、第二离轴抛物面反射镜、单点探测器、信号采集单元和时统设备。积分球光源的出光口处放有正弦光栅；第一离轴抛物面反射镜位于积分球光源的出射光路上；第二离轴抛物面反射镜位于第一离轴抛物面反射镜的出射光路上；待测扫描振镜位于第二离轴抛物面反射镜的出射光路上；单点探测器位于待测扫描振镜反射光束的汇聚点处，以接收正弦光栅像；时统设备用于将待测扫描振镜的电机与单点探测器的信号采集时间同步，并给出待测扫描振镜各角位置所对应的时刻；信号采集单元用于读取单点探测器的输出信号。