专利详情

专利名称	声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔
申请号	CN201620146902.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205790914U	公开（授权）日	2016.12.07
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	李慧;赵江山;张立佳;范元媛;沙鹏飞;宋兴亮;王倩;蔡茜玮;鲍洋;崔惠绒;周翊
主分类号	H01S3/036(2006.01)I	IPC主分类号	H01S3/036(2006.01)I
专利有效期	声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔至声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种声波和激波控制结构及准分子激光器放电腔。声波和激波控制结构贴附在放电腔内壁上，在放电腔内声波和激波重点传播区域设置该控制结构，必要时放电腔全腔内壁均覆盖。声波和激波控制结构由若干组微结构组成，该声波和激波控制结构由微结构拼凑在面内扩展而成，所述微结构是指呈一定规律分布的交错相间的凹陷结构或凸起结构，微结构可由周期性排列的单元结构组成。本实用新型能够大幅降低声波和激波的强度，降低对放电区后续高压放电和激光输出稳定性的不利影响。