专利详情

专利名称	多波长同时照明的非相干叠层衍射成像系统
申请号	CN201620117718.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205749284U	公开（授权）日	2016.11.30
申请（专利权）人	中国科学院西安光学精密机械研究所	发明（设计）人	韩洋;何俊华;闫亚东;韦明智;潘安;万能
主分类号	G01N21/47(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/47(2006.01)I
专利有效期	多波长同时照明的非相干叠层衍射成像系统至多波长同时照明的非相干叠层衍射成像系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种多波长同时照明的非相干叠层衍射成像系统，包括沿光路依次设置的双宽带分光棱镜、空间滤波器、复消色差透镜、探针及成像探测器；待测样品位于探针及成像探测器之间。还包括激光器，所述激光器的出射光通过双全反射镜垂直射入双宽带分光棱镜。基于叠层扫描的多路复用迭代算法，恢复待测样品的复振幅分布、探针的复振幅分布和光谱权重。本实用新型的成像方案与相对应的算法，不仅能够恢复不同波段下对应的复振幅待测样品，同时也能恢复不同波段的光谱权重和不同波段下对应的照明探针的复振幅分布。