专利详情

专利名称	一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置
申请号	CN201620185955.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205726816U	公开（授权）日	2016.11.23
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	王魁波;张罗莎;吴晓斌;陈进新;罗艳;谢婉露;周翊;王宇
主分类号	H05K7/20(2006.01)I	IPC主分类号	H05K7/20(2006.01)I
专利有效期	一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置至一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种用于极紫外光刻板级电子学系统的散热装置，装置包括密封壳体(5)和封口装置(7)，密封壳体(5)具有一个腔室(51)，腔室(51)用于容纳发热元件并具有一个开口端；腔室(51)的内壁上形成有支承部(52)，该支承部(52)支承发热元件的边缘，用于将发热元件产生的热量传送到密封壳体(5)；封口装置(7)位于密封壳体(5)的开口端，用于封闭所述腔室(51)；发热元件与支承部(52)相接的部分可设置热界面材料(4)；密封壳体(5)的壁面内部或外部可设置冷却装置(6)以冷却密封壳体(5)。本实用新型可用于对发热元件进行密封及散热，可增加对发热元件的导热性能，适于对极紫外光刻的板级电子学系统进行高效散热。