专利详情

专利名称	一种基于晶体动态介观缺陷检测的光热共路模块
申请号	CN201620525989.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205670125U	公开（授权）日	2016.11.02
申请（专利权）人	中国科学院福建物质结构研究所	发明（设计）人	吴少凡;郑熠;黄鑫
主分类号	G01N21/88(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/88(2006.01)I
专利有效期	一种基于晶体动态介观缺陷检测的光热共路模块至一种基于晶体动态介观缺陷检测的光热共路模块	法律状态
说明书摘要	一种基于晶体动态介观缺陷检测的光热共路模块，基于本模块的晶体缺陷测量仪通过将泵浦激光与探测激光聚焦于样品的同一点，测试样品的动态介观缺陷，通过样品的移动得到样品的动态缺陷三维分布图，本实用新型的光热共路干涉模块包括泵浦光源、探测光源、会聚光路、样品架、测量光路、激光功率计以及波前探测器，泵浦激光加热测试点，剩余激光由激光功率计接收，探测激光通过被加热的测试点，由于测试点的温度分布，波前发生干涉变化，透过样品的弱激光通过测量光路，照射到波前探测器，测量变化后的波前信息，通过对比计算，获得照射点的发热情况以及吸收大小。