专利详情

专利名称	一种大面积薄区透射电镜样品的制备方法
申请号	CN201610515722.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105973674A	公开（授权）日	2016.09.28
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	谷立新;赵旭晁;林杨挺
主分类号	G01N1/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01N1/28(2006.01)I;G01N1/32(2006.01)I;G01N23/22(2006.01)I;G01N23/225(2006.01)I
专利有效期	一种大面积薄区透射电镜样品的制备方法至一种大面积薄区透射电镜样品的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种制备大面积透射电镜样品的方法，将样品切割研磨成长条，然后用氩离子束进行离子切割目标区域厚度到10μm；之后，把样品转移到离子束抛光设备上平整放置，样品台可以调节角度，且能够旋转和摆动，用氩离子束依次用18°、12°、9°、6°、3°角对样品进行抛光减薄，用体视镜可以观察样品变化；最后用低电压的离子束进行样品的清洗，避免了样品制备过程中产生的非晶层，可以获得高质量具有大面积薄区的透射电镜样品，从而应用于矿物、陨石等复杂材料的透射电镜测试和结合纳米粒子探针/电子探针等原位分析技术中。