专利详情

专利名称	一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件
申请号	CN201620346187.5	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205583368U	公开（授权）日	2016.09.14
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	徐天鸿;曹俊诚
主分类号	H01S5/343(2006.01)I	IPC主分类号	H01S5/343(2006.01)I;H01S5/22(2006.01)I;H01S5/06(2006.01)I;H01S5/065(2006.01)I
专利有效期	一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件至一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件，所述器件包括：半绝缘GaAs衬底；位于该衬底上表面的GaAs缓冲层；位于该缓冲层表面的n型重掺杂下接触层；位于该下接触层表面的有源区；位于有源区表面的n型重掺杂上接触层；位于n型重掺杂上接触层表面且各自分隔的第一、第二、第三上电极金属层，第一上电极金属层与第二上电极金属层之间设有凹至GaAs缓冲层的深隔离槽，第三上电极金属层为退火后可形成高波导损耗的上电极金属层；以及位于n型重掺杂下接触层表面及有源区两侧的下电极金属层。通过本实用新型提供的一种太赫兹量子级联激光器增益谱测量器件，解决了现有技术中无法测得THz?QCL在可工作电流密度范围内完整的增益谱变化情况的问题。