专利详情

专利名称	一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置
申请号	CN201620237875.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205508767U	公开（授权）日	2016.08.24
申请（专利权）人	中国科学院等离子体物理研究所	发明（设计）人	谢亚红;顾玉明;胡纯栋;谢远来;宋云涛
主分类号	H01J37/08(2006.01)I	IPC主分类号	H01J37/08(2006.01)I
专利有效期	一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置至一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种可伸缩旋转快速拆卸型离子源装置，包括有离子源，离子源上套设有压块座，压块座通过第一压紧螺栓向上固定在过渡法兰上，压块座与过渡法兰之间设有第一密封圈；所述过渡法兰通过第二压紧螺栓向上固定在插板阀的下法兰上，过渡法兰与插板阀的下法兰之间设有第二密封圈，插板阀的上法兰通过第三压紧螺栓向上固定在主真空室法兰上，插板阀的上法兰与主真空室法兰之间设有第三密封圈；所述离子源通过压紧密封装置实现自由伸缩长度及旋转，通过开关插板阀的阀芯实现离子源和主真空室之间真空联通和隔断。本实用新型装置可以满足需要离子源自由伸缩长度、可旋转、方便拆卸且不破坏主真空室真空等功能的要求且结构简单安装方便。