专利详情

专利名称	一种长杆状可伸缩旋转型离子源
申请号	CN201620237927.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205508760U	公开（授权）日	2016.08.24
申请（专利权）人	中国科学院等离子体物理研究所	发明（设计）人	谢亚红;顾玉明;胡纯栋;谢远来;宋云涛
主分类号	H01J3/04(2006.01)I	IPC主分类号	H01J3/04(2006.01)I
专利有效期	一种长杆状可伸缩旋转型离子源至一种长杆状可伸缩旋转型离子源	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种长杆状可伸缩旋转型离子源，包括有离子源外部长杆、离子源头部外壳和位于离子源外部长杆、离子源头部外壳之间头部连接座，以及位于离子源头部外壳内部的离子源灯丝、进气管，离子源外部长杆上套设有压块座，压块座通过压紧螺栓向上固定在连接法兰上，压块座与连接法兰之间设有氟橡胶密封圈；离子源灯丝的两极安装在两个灯丝支撑座上，灯丝支撑座上内钎焊有灯丝冷却水管，离子源头部外壳固定在头部连接座上，头部连接座内设有头部外壳冷却水管。本实用新型装置可以满足需要离子源自由伸缩长度、可旋转、方便拆卸且具有自冷却功能的要求，且结构简单安装方便。