专利详情

专利名称	一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法
申请号	CN201610218534.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN105800546A	公开（授权）日	2016.07.27
申请（专利权）人	中国科学技术大学	发明（设计）人	刘刚;陈楠;熊瑛;张晓波;田扬超;陆亚林
主分类号	B81C1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81C1/00(2006.01)I;B81C99/00(2010.01)I
专利有效期	一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法至一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种基于凝胶作用固定大高宽比微纳结构的方法，其步骤为：(1)配置好热溶胶，浓度为：0.1％～2.0％，热溶胶温度为：50～95℃，凝胶化温度：＜40℃；(2)将热溶胶添加于微纳结构上，改变温度形成凝胶层，并通过旋涂或提拉工艺控制凝胶层的厚度及平整度，将大高宽比微纳结构固定在凝胶层中；(3)对已固定的大高宽比微纳结构进行检测或添加夹具；(4)将检测过的样品置于热水浴中，去除微纳结构上的凝胶。本发明通过在微纳结构中形成凝胶来消除溶剂挥发所产生的液体表面张力，从而防止结构失效，将工艺形成的微纳结构有效地固定住，这样可以通过检测大高宽比微纳结构的好坏来进行工艺评价，以此来保证加工工艺的有效性。