专利详情

专利名称	一种极紫外光源性能参数的测量系统
申请号	CN201520900632.3	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205317449U	公开（授权）日	2016.06.15
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	谢婉露;吴晓斌;陈进新;王魁波;罗艳;张罗莎;王宇;崔惠绒
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种极紫外光源性能参数的测量系统至一种极紫外光源性能参数的测量系统	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种极紫外光源性能参数测量系统，其包括：EUV光源腔室、反射镜腔室、测量腔室，其中设置有旋转调节装置；所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构；所述旋转圆盘开有至少一个通光孔，所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方；所述旋转转盘的支撑调节结构包括：第一调节杆，将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上；第二调节杆，其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔，以旋钮方式固定在支撑板上；支撑板，其固定于所述测量腔室底部腔壁上。