专利详情

专利名称	一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置
申请号	CN201520979113.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205246559U	公开（授权）日	2016.05.18
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	周梅华;虞慧娴;孙士文
主分类号	G01N21/88(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/88(2006.01)I
专利有效期	一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置至一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置	法律状态
说明书摘要	本专利公开了一种碲锌镉晶片腐蚀形貌的快速成像装置，装置包括一框架，该框架由样品台、下底板、左侧挡板、顶盖、右侧挡板和中间隔板组成；所述顶盖与中间隔板上等间距分布若干螺孔，用于安装光源若干；所述框架顶盖上设置有若干电源开关，该开关位置与光源相互对应；所述样品台放置在下底板上，可自由移动；所述左侧挡板设有电源总开关，与顶盖上的电源开关和光源通过电线串并联。本专利通过使用可见光拍照技术，对碲锌镉晶片表面腐蚀坑缺陷分布进行观察和记录，可以快速获得整个晶片的缺陷分布形貌。