
一种星形探针定位装置
- 申请号:CN201520733518.6
- 专利类型:实用新型
- 申请(专利权)人:中国科学院西安光学精密机械研究所
- 公开(公开)号:CN205192455U
- 公开(公开)日:2016.04.27
- 法律状态:
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专利详情
专利名称 | 一种星形探针定位装置 | ||
申请号 | CN201520733518.6 | 专利类型 | 实用新型 |
公开(公告)号 | CN205192455U | 公开(授权)日 | 2016.04.27 |
申请(专利权)人 | 中国科学院西安光学精密机械研究所 | 发明(设计)人 | 马娜娜;付西红;周美英 |
主分类号 | G01B21/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G01B21/00(2006.01)I |
专利有效期 | 一种星形探针定位装置 至一种星形探针定位装置 | 法律状态 | |
说明书摘要 | 本实用新型公开了一种星形探针定位装置,包括底板和垂直固定在底板上的立杆,底板上设有定位孔;立杆上设有导轨,导轨上限位有滑块,滑块能够沿立杆的轴向滑动;滑块上设有定位头,定位头与底板平行,定位头用于限位在待定位探针组件磁性吸盘定位槽的中心处;所述定位孔用于安装待定位探针组件的探针座,探针座安装在定位孔时,待定位探针组件的连接杆与底板垂直,定位头与探针座的X轴或Y轴垂直。本实用新型结构简单,定位方法快捷,减少人为测量误差,进一步提高了探针组件的测量效率和应用范围。 |
交易流程
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