专利详情

专利名称	一种通过不同孔道内径来改变气体流量比例的三通模块
申请号	CN201520857619.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205177771U	公开（授权）日	2016.04.20
申请（专利权）人	中国科学院大连化学物理研究所	发明（设计）人	李京华;渠团帅;仓怀文;李东明;邸尚华;李海洋
主分类号	H01J49/04(2006.01)I	IPC主分类号	H01J49/04(2006.01)I
专利有效期	一种通过不同孔道内径来改变气体流量比例的三通模块至一种通过不同孔道内径来改变气体流量比例的三通模块	法律状态
说明书摘要	一种通过不同孔道内径来改变气体流量比例的三通模块，该三通模块包括：进气孔道、出气孔道A和出气孔道B构成的三通且有一个共同的连接端口，即进气孔道的出口分别与出气孔道A和出气孔道B的进口相连接，进气孔道的内径大于出气孔道A的内径，出气孔道A的内径大于出气孔道B的内径。进气孔道远离连接端口的另一端口对应的为进气口，出气孔道A远离连接端口的另一端口对应的为出气口A，出气孔道B远离连接端口的另一端对应的为出气口B，气体从进气口进入三通，从出气口A和出气口B流出三通模块。本实用新型可以提供稳定而按比例分配的气体流量。