专利详情

专利名称	一种新型真空用湿气充入装置
申请号	CN201520908702.X	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN205088302U	公开（授权）日	2016.03.16
申请（专利权）人	成都中科唯实仪器有限责任公司	发明（设计）人	何吉刚;马宁;蒋冰霜;魏琼林;蒙志林;雷梁;冉从军
主分类号	C23C16/455(2006.01)I	IPC主分类号	C23C16/455(2006.01)I
专利有效期	一种新型真空用湿气充入装置至一种新型真空用湿气充入装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种新型真空用湿气充入装置，包括真空罐体，真空罐体的进气口和抽气口分别设置有湿气发生器和抽气机，湿气发生器与进气口之间的管路设置有充气调节阀，充气调节阀连接有调节阀控制器，真空罐体还安装有湿度计和观察窗，湿度计的上端部设置有湿度计显示器和湿度计开关按钮，湿度计的下端部设置有湿度计测量口，湿度计显示器位于观察窗的正下方，湿度计测量口靠近进气口，真空罐体的顶部设置有可以按下的开关按钮真空密封轴，开关按钮真空密封轴位于湿度计开关按钮的正上方。本实用新型可精确定量的充入镀膜用反应湿气，重复性好，所镀的真空薄膜比较理想。